掃描電鏡主要通過電子束掃描樣品表面獲得樣品信息，具有分辨率高、放大倍率范圍寬等特點，已廣泛應用于多個領域。今天主要為大家分享掃描電鏡的成像原理。

掃描電鏡基本原理是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。當電子轟擊樣品表面時會產生各種信號，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號來自樣品的特定發射區域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結構等信息。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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