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認識一臺掃描電鏡帶能譜儀從它的原理及主機的特色開始

日期:2022-05-24

掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧,可安放在實驗臺面上操作的臺式電子顯微鏡。它的電子光學系統、探測器、電路控制系統、信號采集系統和操作軟件均為自主研制。獨立研發的電子光學系統設計,使拍攝圖片具有更高的信噪比和對比度。配合很高的信號采集帶寬,可以在視頻幀率下高質量的流暢顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,無需光闌對中等復雜步驟。主機集成高壓及控制系統,是目前市面上體積較小的臺式掃描電鏡,便于移動,安裝無需特殊環境。

  首先我們要了解掃描電鏡帶能譜的原理:

  從電子槍中發射出高能電子束撞擊樣品表面,與原子的內層電子發生非彈性散射作用時,使原子發生電離,從而使原子失去一個內層電子而變成離子,并在該電子層對應位置產生一個空穴,原子為了恢復到穩定態,較外層的電子就會填補到這個空穴,在填補過程中同時會產生具有特征能量的X射線,探測器接收到這些特征X射線后,經過分析處理轉換得到譜圖和分析數據輸出。

臺式掃描電鏡1.jpg

  下面我們來看看掃描電鏡帶能譜的主機特色:

  僅需鼠標即可完成所有操作,無須對中光闌等復雜步驟;

  亮度/對比度一鍵自適應,自動/手動聚焦;

  抽真空時間小于90秒;

  標配光學導航,搭配多樣品臺,實現快速找樣及切換樣品;

  信號采集帶寬10M,掃描速度快;

  視頻模式下實時觀察樣品,操作流暢,無卡頓;

  四分割背散射電子探測器(多種成像模式)、二次電子探測器;

  BSE+SE模式(任意比列混合)、集成EDS元素分析功能。


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作者:澤攸科技