掃描電鏡需的工作條件和操作步驟
日期:2023-05-19
掃描電鏡的工作條件和操作步驟如下:
工作條件:
環境:確保在合適的實驗室環境中進行SEM操作,遵守相關的規程和實驗室準則。
電源和冷卻:確保SEM設備連接到穩定的電源,并保持適當的冷卻條件,以防止設備過熱。
操作步驟:
準備樣品:根據樣品類型和研究目的,制備適合SEM觀察的樣品。這包括樣品固定、去除水分、表面涂覆等步驟。確保樣品干凈、導電性良好,并且尺寸適合SEM觀察。
裝載樣品:將準備好的樣品裝載到SEM樣品臺上。使用樣品夾具、樣品架或粘性導電劑等方法固定樣品,確保穩定性和導電性。
抽真空:在進行SEM觀察之前,需要將SEM系統抽真空以減少氣體分子的干擾。根據設備型號和廠商指南,按照正確的順序操作真空泵和抽真空系統,確保系統達到適當的真空級別。
對準樣品:使用顯微鏡或其他對準裝置,對準樣品以確保電子束的正確位置。調節樣品位置、傾斜角度和旋轉角度,使樣品表面垂直于電子束方向。
調整參數:根據樣品類型和觀察需求,調整SEM參數,如加速電壓、對比度、亮度、探針電流、掃描速度等。優化參數以獲得所需的圖像質量和分辨率。
獲取圖像:開始掃描,通過監視SEM圖像的顯示,獲取所需的圖像區域和圖像模式。根據需要調整聚焦、縮放和掃描范圍等參數。
數據記錄和分析:根據SEM圖像的觀察結果,記錄數據并進行進一步的分析。這可能涉及測量樣品尺寸、形狀、表面形貌等參數,或進行成分分析、晶體結構分析等。
關閉設備:在使用完SEM后,根據設備廠商的指南,按照正確的順序關閉SEM設備和真空系統。確保設備處于安全狀態,進行必要的清理和維護。
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作者:澤攸科技