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掃描電鏡的高真空和低真空模式有什么不同?

日期:2023-06-21

掃描電子顯微鏡(SEM)通常提供兩種操作模式:高真空模式和低真空模式。這兩種模式有以下不同之處:

真空條件:在高真空模式下,SEM工作在高度真空的環境中,通常在10^-3至10^-7帕的范圍內。而低真空模式下,SEM可以在較低的真空水平中操作,通常在10至130帕之間。

樣品制備:在高真空模式下,樣品須具備一定的導電性,以避免電子束的散射和積累電荷。因此,在高真空模式下,通常需要對非導電樣品進行金屬涂覆或者利用碳納米管等導電涂層處理。而在低真空模式下,可以直接觀察非導電樣品,因為較高的氣壓有助于抑制電荷的積累。

分辨率和對比度:由于低真空模式下的氣體存在,電子與氣體分子之間發生碰撞,會導致電子束的散射。因此,低真空模式下的SEM相對于高真空模式下的SEM具有較低的分辨率和對比度。在低真空模式下,由于散射的存在,圖像可能會出現一些模糊或者失真的情況。

樣品適用性:低真空模式對于不具備導電性的樣品具有更廣泛的適用性。由于低真空環境下,電荷積累的問題較小,因此可以觀察更多種類的樣品,包括生物樣品、聚合物、纖維素材料等。

氣體環境:低真空模式可以通過在SEM內部引入一些氣體,如水汽、氮氣等,來控制氣氛環境。這對于一些需要在特定氣氛中觀察樣品的應用非常有用,例如對氧敏感的樣品進行觀察。

綜上所述,高真空模式和低真空模式在真空條件、樣品制備、分辨率和對比度、樣品適用性以及氣體環境等方面存在差異。根據具體的觀察需求和樣品特性,選擇適合的模式進行操作。   

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以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的高真空和低真空模式的區別。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技