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掃描電鏡如何實現表面形貌和拓撲的觀察?

日期:2023-08-18

掃描電鏡(SEM)是一種常用于觀察表面形貌和拓撲的強大工具。它利用電子束而不是光線來形成圖像,能夠提供高分辨率和深度的樣品表面信息。以下是SEM觀察表面形貌和拓撲的一般步驟:

樣品準備:首先,您需要準備好待觀察的樣品。樣品可能需要經過特殊處理,如金屬涂層(例如金屬蒸鍍或碳薄層)以增加導電性,或者冷凍斷裂、切片等樣品處理方法。

真空處理: SEM需要在真空環境中操作,以避免電子束與空氣分子的相互作用。樣品須放置在真空室中進行觀察。

樣品固定:樣品需要被固定在SEM樣品臺上。這可以通過雙面膠、導電膠、夾持裝置等方法實現,確保樣品穩定且與臺面導電。

調整參數:在SEM觀察之前,您需要設置適當的操作參數。這包括電子束的加速電壓、透鏡聚焦、檢測器設置等。不同的樣品和觀察需求可能需要調整不同的參數。

掃描圖像:開始電子束掃描樣品表面。電子束與樣品表面相互作用后,會產生二次電子、反射電子、后向散射電子等信號。這些信號被檢測器捕捉,并根據信號的強弱來形成圖像。二次電子圖像通常用于觀察表面形貌,而反射電子圖像則可以提供拓撲信息。

圖像處理:獲得的SEM圖像可能需要進行后期處理,以增強對細節的觀察。您可以使用圖像處理軟件來調整對比度、亮度、銳度等參數。

解釋結果:分析SEM圖像以獲得關于樣品表面形貌和拓撲的信息。您可以觀察顆粒、紋理、裂縫、孔洞等細節,并從中推斷樣品的性質和特征。

ZEM18臺式掃描電鏡

ZEM18臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技