在掃描電鏡（SEM）中，調(diào)整樣品臺的傾斜角度可以幫助優(yōu)化圖像的對比度、觀察表面結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)，以及獲得立體感和更好的斷層視角。樣品臺的傾斜角度通常可以在控制面板中手動或自動調(diào)整，以適應(yīng)不同的成像需求。以下是具體的調(diào)整方法和注意事項：

1. 樣品臺傾斜控制

手動控制：部分 SEM 配有物理按鈕或旋鈕，可以直接手動調(diào)整樣品臺的傾斜角度。通常在顯微鏡的控制面板或樣品艙附近。

軟件控制：許多現(xiàn)代 SEM 通過軟件控制樣品臺傾斜。在操作軟件的用戶界面中，可以找到傾斜控制選項，輸入所需的角度（例如 0° 到 90°）并執(zhí)行調(diào)整。

2. 常見傾斜角度應(yīng)用

0°（水平）：適用于一般成像和樣品表面特征分析。水平放置可以減少視角失真，使得表面觀測效果更好。

15° – 45°：傾斜角度的設(shè)置能增強表面結(jié)構(gòu)的立體感，尤其適合于觀察樣品的縱深或厚度。例如，顆粒表面觀察或?qū)訝顦悠返某上瘛?/span>

>45°：高角度傾斜用于觀察橫截面或接近垂直的結(jié)構(gòu)，適合斷層成像和立體觀察。

3. 調(diào)整步驟

定位樣品：將樣品放置在樣品臺上，確保牢固固定。

選擇初始傾斜角度：在 SEM 軟件中或使用手動控制將樣品臺傾斜至所需初始角度（如 0°）。

實時觀察調(diào)整效果：在 SEM 界面上觀察實時圖像，慢慢增加或減小傾斜角度，調(diào)整至所需的觀察效果。

4. 傾斜角度對成像效果的影響

電子束入射角度：樣品臺傾斜會改變電子束入射角度，從而影響樣品的電子發(fā)射效率和圖像對比度。

表面電荷累積：對非導(dǎo)電材料，傾斜角度可能影響電荷分布，導(dǎo)致樣品不同區(qū)域的電荷累積變化。合理的角度可以減小充電效應(yīng)。

景深變化：傾斜角度增加會帶來一定的景深變化，適當(dāng)?shù)膬A斜可使樣品的不同層面同時成像清晰。

5. 注意事項

避免樣品與物鏡碰撞：樣品臺傾斜時要特別小心與物鏡或探頭之間的距離，以免傾斜角度過大導(dǎo)致碰撞。

校準(zhǔn)和重新聚焦：傾斜樣品后，需重新對焦和校準(zhǔn)以獲得清晰的圖像。

樣品穩(wěn)定性：確保樣品牢固固定，以避免傾斜過程中樣品移動或振動影響成像質(zhì)量。

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