在掃描電鏡（SEM）中，樣品受熱損傷是一個常見問題，特別是在高電流、高加速電壓或長時間掃描下，電子束會產生大量熱量，可能導致樣品表面損傷或形變。為了避免或減輕掃描電鏡樣品的熱損傷，可以采取以下措施：

1. 調節(jié)電子束電流和加速電壓

高電流和高加速電壓會產生更多的熱量，因此合理調整這些參數(shù)，可以有效減少熱損傷。

方法：

降低電子束電流：通過降低掃描電流，可以減小樣品受熱的程度。對于一些較為敏感的樣品，使用較低的電流進行掃描。

降低加速電壓：高加速電壓會使電子束攜帶更多能量，從而釋放更多的熱量。適當降低加速電壓（例如，使用5-10kV的電壓而不是30kV）可以減少樣品的熱負荷。

選擇適當?shù)膾呙枘Ｊ剑哼x擇適合樣品的掃描模式（例如，減少掃描頻率或減少圖像分辨率）也有助于降低加熱。

2. 使用低電流、高掃描速度模式

電子束掃描時間長會導致熱積累，因此通過增加掃描速度，可以減少樣品的加熱時間。

方法：

提高掃描速度：選擇更高的掃描速度，減少每個像素所占用的時間，從而降低電子束在樣品表面停留的時間，減輕熱積累。

減少圖像放大倍數(shù)：較高的圖像放大倍數(shù)會導致電子束在樣品表面停留時間較長，因此可以通過減少放大倍數(shù)來減少熱損傷。

3. 使用低真空或場發(fā)射電子槍（FEG）

傳統(tǒng)的掃描電鏡使用的電子槍在工作時會發(fā)射較高能量的電子束，可能導致樣品熱損傷。使用場發(fā)射電子槍（FEG）可以提供較為集中的電子束，減少熱效應。

方法：

低真空掃描模式：在低真空模式下，樣品與空氣的相互作用較少，能量損失較少，因此可能降低熱損傷。

使用場發(fā)射電子槍：場發(fā)射電子槍（FEG）可以提供更小、集中的電子束，避免高能電子束在大面積區(qū)域散布，減少熱量產生。

4. 使用冷卻系統(tǒng)

對于熱敏感樣品，可以使用冷卻系統(tǒng)將樣品表面溫度控制在安全范圍內。很多掃描電鏡都配備有冷凍臺或冷卻裝置，用于降低樣品溫度。

方法：

冷凍樣品臺：通過將樣品冷卻到低溫（例如，使用液氮冷卻）來減少熱損傷。許多掃描電鏡系統(tǒng)都提供液氮冷卻臺，可以有效控制樣品溫度。

樣品冷卻器：對于需要長時間掃描或加大掃描面積的樣品，可以使用冷卻器或熱電冷卻裝置來降低樣品的溫度，避免過熱。

5. 使用適當?shù)膶щ娡繉?/span>

對于非導電樣品，通常會使用導電涂層（如金、鉑或碳涂層）來提高其導電性。涂層不僅能提高圖像質量，還能有效分散樣品表面的熱量，減少熱損傷。

方法：

均勻涂覆導電材料：使用金屬或碳基材料均勻涂覆樣品表面，能夠增加熱傳導，幫助樣品更好地散熱。

選擇薄涂層：涂層過厚可能會在某些情況下反而影響熱傳導，因此應根據(jù)樣品特性選擇合適的涂層厚度。

6. 合理選擇掃描區(qū)域

選擇樣品上較為穩(wěn)定且不易受熱損傷的區(qū)域進行掃描，以減少熱效應對敏感區(qū)域的影響。

方法：

避開樣品的薄弱區(qū)域：例如，在掃描較為脆弱的區(qū)域時，應該選擇較低的電子束電流和加速電壓，避免過多的熱量積聚。

分區(qū)域掃描：通過分區(qū)域掃描，可以降低每次掃描時樣品的熱負荷。

7. 進行熱管理模擬與優(yōu)化

在掃描前進行熱管理的模擬，評估不同條件下樣品可能的熱效應，進而調整掃描參數(shù)。

方法：

熱模擬軟件：使用熱模擬軟件來預測不同掃描條件下樣品表面的溫度分布，優(yōu)化掃描參數(shù)，避免過熱。

實驗測試：通過實驗觀察不同掃描條件下樣品的熱損傷情況，調整掃描策略，避免樣品受熱損傷。

8. 適當?shù)臉悠窚蕚?/span>

有些樣品在SEM中掃描時自然較容易受熱損傷，特別是一些含水的生物樣品或聚合物材料。適當?shù)臉悠窚蕚淇蓽p少這種風險。

方法：

脫水和干燥樣品：對于生物樣品，可以先進行脫水和干燥處理，以避免水分對樣品造成的熱膨脹損傷。

選擇合適的處理方法：對于脆弱材料，可以選擇先進行特殊處理（如真空干燥或低溫冷凍），然后再進行SEM分析。

以上就是澤攸科技小編分享的如何避免掃描電鏡樣品受熱損傷。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢