判斷掃描電鏡 (SEM) 的電子槍 (Electron Gun) 是否需要更換，通常可以通過以下幾個方面進行評估：

1. 發(fā)射電流衰減 (Emission Current Decay)

表現(xiàn):

發(fā)射電流逐漸減小，即使增加加速電壓也無法恢復(fù)到正常水平。

通常在 SEM 的狀態(tài)界面上可以看到發(fā)射電流值（如 μA 或 nA 級）。

原因:

鎢絲或六硼化鑭 (LaB6) 電子槍的燈絲消耗或污染導(dǎo)致電子發(fā)射效率降低。

場發(fā)射電子槍 (FEG) 中發(fā)射尖端的污染或損傷。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

鎢絲電子槍: 當(dāng)發(fā)射電流低于初始值的 50% 時，通常需要考慮更換。

LaB6 電子槍: 當(dāng)電流衰減明顯且清洗無效時考慮更換。

場發(fā)射電子槍: 如果在正常工作電壓下發(fā)射電流低于規(guī)格建議的最小值 (如 10 μA 以下)，通常需要更換。

2. 分辨率下降與成像質(zhì)量變差

表現(xiàn):

圖像出現(xiàn)模糊、噪聲增加、對比度下降等問題。

難以獲得高倍率或高分辨率圖像。

原因:

鎢絲電子槍: 燈絲變細(xì)或不均勻?qū)е码娮邮l(fā)散。

LaB6 電子槍: 燈絲尖端氧化或污染。

場發(fā)射電子槍: 發(fā)射尖端污染或真空度下降導(dǎo)致電子束發(fā)散。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

經(jīng)校準(zhǔn)與清潔后仍無法恢復(fù)圖像質(zhì)量，考慮更換電子槍。

3. 啟動時間過長或無法啟動

表現(xiàn):

加熱時間明顯延長，電子槍難以穩(wěn)定。

場發(fā)射電子槍: 預(yù)熱后仍無法建立正常發(fā)射電流。

原因:

燈絲老化導(dǎo)致加熱效率低。

污染物覆蓋發(fā)射尖端，影響電子發(fā)射。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

如果預(yù)熱時間超過通常的 2 倍以上，或者多次啟動失敗，通常考慮更換。

4. 電壓漂移與不穩(wěn)定

表現(xiàn):

加速電壓不穩(wěn)定，導(dǎo)致電子束位置漂移或成像不穩(wěn)定。

發(fā)射電流有明顯的波動或斷續(xù)現(xiàn)象。

原因:

鎢絲: 燈絲斷裂或接觸不良。

LaB6: 燈絲與安裝座接觸氧化。

FEG: 發(fā)射尖端表面狀態(tài)劣化。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

經(jīng)檢查后確認(rèn)非電源或控制電路問題，通常是電子槍需要更換的信號。

5. 燈絲壽命與使用時間

參考壽命:

鎢絲電子槍: 通常壽命為 100-200 小時（根據(jù)使用條件）。

LaB6 電子槍: 壽命可達(dá) 1000-1500 小時。

場發(fā)射電子槍 (冷場發(fā)射): 理論壽命可達(dá) 5000-10000 小時，但強烈依賴真空度和使用頻率。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

達(dá)到或接近標(biāo)稱壽命時，且表現(xiàn)出上述問題之一，考慮更換。

6. 觀察燈絲形貌 (僅限鎢絲與 LaB6)

方法:

通過 SEM 的維護功能，使用低倍率成像直接觀察燈絲狀態(tài)。

主要查看：變細(xì)、斷裂或嚴(yán)重氧化的部分。

燈絲是否呈現(xiàn)不規(guī)則彎曲或偏移。

判斷標(biāo)準(zhǔn):

若燈絲明顯變細(xì)或表面粗糙不均，通常需要更換。

以上就是澤攸科技小編分享的如何判斷掃描電鏡的電子槍是否需要更換。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。